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半導体業界向け製品に不可欠な「低アウトガス、低溶出金属＆イオン、帯電防止機能」。当社はこのテーマを“独自材料の開発”でクリアし、e-mateX®という独自材料ブランドを確立。業界特有のスピードと技術変化に対応した材料開発と製品デザイン提案を行い、お客様に高い評価を得ています。 |
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e-mateX®は冨士ベークライトが半導体及び液晶製品向けに開発した、プラスチック材料の総称であり、商標登録されています。 |
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Paragonは冨士ベークライトが半導体及び液晶製品全般に使用する総称です。一般に“規範、逸品、逸材”と訳される通り、今後の半導体業界の規範たるべき製品の開発を常に目指しています。 |
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| 【特徴】 |
e-mateX®
FB0210シリーズは、透明ABS材料と帯電防止材料とを特殊製法にてアロイ化させた持続性帯電防止透明ABS材料です。特に、優れた低アウトガス性、帯電防止性能、剛性を合わせ持った低コスト容器をご提供させていただくために開発したものです。
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| 【推奨用途】 |
| 工程内保管ケース／ボックス、マスクケース、レチクルケース、SMIF
POD シェル |
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| ■ FB0220シリーズ |
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| 【特徴】 |
e-mateX®
FB0220シリーズは、特殊重合方法にて合成されたABS材料と帯電防止材料とをアロイ化させた持続性帯電防止ABS材料です。特に、持続性帯電防止PP材料の低コスト代替材料とし、優れた帯電防止性能、低アウトガス性、剛性を合わせ持った低コスト容器をご提供させていただくために開発したものです。
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| 【推奨用途】 |
| 工程内キャリア、工程内保管ケース／ボックス |
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| ■ FB0430シリーズ |
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| 【特徴】 |
e-mateX®
FB0430シリーズは、環状オレフィン系材料と特殊カーボン繊維とを特殊配合させた帯電防止材料で、帯電防止PBT材料のアップグレード材料及びPEEK材料の低コスト材料として開発しました。特性としては、低アウトガス性、低溶出イオン性、低発塵性、安定した帯電防止性能、剛性等に優れ、既存帯電防止PEEK容器に匹敵しうる性能を持った低コスト容器をご提供します。
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| 【推奨用途】 |
| 工程内キャリア、工程内各種冶具 |
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| ■ FB0530シリーズ |
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| 【特徴】 |
e-mateX®
FB0530シリーズは、ポリカーボネート材料と特殊カーボン繊維とを特殊配合させた帯電防止材料です。特に摺動摩耗特性や高強度を必要とする部位に対応することができ、優れた帯電防止性能、低アウトガス性、剛性を合わせ持った低コスト容器をご提供させていただくために開発したものです。
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| 【推奨用途】 |
| 工程内容器（本体）、工程内各種冶具 |
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| 【特徴】 |
| Paragonキャリア
FB12A100は、e-mateX®
FB-0430を使用し、従来のPP、PBT材料のアップグレードキャリアとなります。PP、PBT材料でのキャリアの変形、パーティクルが問題となる場合に特におすすめしたい材料です。寸法安定性に優れ、摩耗性能も格段にアップしたキャリアとなります。 |
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| ■ FB15A100 |
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（6インチ帯電防止キャリア） |
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| 【特徴】 |
| Paragonキャリア
FB15A100は、e-mateX®
FB-0430を使用し、従来のPP、PBT材料のアップグレードキャリアとなります。PP、PBT材料でのキャリアの変形、パーティクルが問題となる場合に特におすすめしたい材料です。寸法安定性に優れ、摩耗性能も格段にアップしたキャリアとなります。 |
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| ■ FB20A100 |
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（8インチ帯電防止キャリア） |
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| 【特徴】 |
| Paragonキャリア
FB20A100は、e-mateX®
FB-0430を使用し、従来のPP、PBT材料のアップグレードキャリアとなります。特に200mmラインの微細化が進みPP、PBT材料でのキャリアの変形、パーティクルが問題となる場合におすすめしたい材料です。寸法安定性に優れ、摩耗性能も格段にアップしたキャリアとなります。 |
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| ■ FB20A101 |
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（8インチ帯電防止全壁ロープロファイルキャリア） |
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| 【特徴】 |
| Paragonキャリア
FB20A101は、e-mateX®
FB-0430を使用し、ロープロファイル形状であり、且つ壁面を全壁タイプにしました。e-mateX®
FB-0430を使用することにより、従来のロープロファイルキャリアで問題となっていた変形を抑えることが可能となります。 |
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| ■ FB20A102 |
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（8インチ帯電防止キャリア） |
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| 【特徴】 |
| Paragonキャリア
FB20A102は、e-mateX®
FB-0430を使用し、従来のPP、PBT材料のアップグレードキャリアとなります。特に200mmラインの微細化が進みPP、PBT材料でのキャリアの変形、パーティクルが問題となる場合におすすめしたい材料です。寸法安定性に優れ、摩耗性能も格段にアップしたキャリアとなります。 |
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| 【特徴】 |
| Paragonケース
FB12C000は、e-mateX®
FB-0212を蓋に、e-mateX®
FB-0530を本体に使用し、従来のPP、PBT材料のケースが持たない、透明帯電防止＋本体の低摩耗性能の両要求を満足させるために開発された製品です。さらにケース前側が大きく開き、キャリアの出し入れが容易になっております。ケースU壁面のバーコードラベルも蓋を開けることなくリーダーで読みとることができます（事前にご確認ください）。また、ケース蓋上面には、ロットカード用プレートも溶着にて取り付けることが可能です。蓋の材料であるe-mateX®
FB-0212を透明着色タイプにすることで識別も可能となります。 |
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| ■ FB15C000 |
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（5インチ・6インチ兼用透明帯電防止ケース） |
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| 【特徴】 |
| Paragonケース
FB15C000は、e-mateX®
FB-0210を蓋に、e-mateX®
FB-0530を本体に使用し、従来のPP、PBT材料のケースが持たない、透明帯電防止＋本体の低摩耗性能の両要求を満足させるために開発された製品です。さらにケース前側が大きく開き、キャリアの出し入れが容易になっております。ケースU壁面のバーコードラベルも蓋を開けることなくリーダーで読みとることができます（事前にご確認ください）。また、ケース蓋上面には、ロットカード用プレートも溶着にて取り付けることが可能です。蓋の材料であるe-mateX®
FB-0210を透明着色タイプにすることで識別も可能となります。 |
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| ■ FB20C000 |
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（8インチ透明帯電防止ケース） |
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| 【特徴】 |
| Paragonケース
FB20C000は、e-mateX®
FB-0210を蓋に、e-mateX®
FB-0530を本体に使用し、従来のPP、PBT材料のケースが持たない、透明帯電防止＋本体の低摩耗性能の両要求を満足させるために開発された製品です。さらにケース前側が大きく開き、キャリアの出し入れが容易になっております。ケースU壁面のバーコードラベルも蓋を開けることなくリーダーで読みとることができます（事前にご確認ください）。また、ケース蓋上面には、ロットカード用プレートも溶着にて取り付けることが可能です。蓋の材料であるe-mateX®
FB-0210を透明着色タイプにすることで識別も可能となります。 |
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| ■ FB20C001 |
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（8インチ透明帯電防止ケース） |
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| 【特徴】 |
| Paragonケース
FB20C001は、e-mateX®
FB-0220を蓋に使用し、従来のPP材料のケースより低アウトガス、さらにPBT材料と比べて低コストを実現しました。また、蓋についてはe-mateX®
FB-0210シリーズを使用することで透明になり、保管キャリアの確認が可能となります。さらに、本体をe-mateX®
FB-0530を使用することでキャリア脚部との摩耗をより低減させることが可能となります。 |
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